三氯化鐵的蝕刻原理
隨著電子技術(shù)的發(fā)展,越來(lái)越需要許多幾何形狀復(fù)雜、精密度要求高而機(jī)械加工難以實(shí)現(xiàn)的超薄形工件。而照相腐蝕(或稱(chēng)金屬蝕刻)方法卻易達(dá)到部件平整、無(wú)毛刺、圖形復(fù)雜的要求,且加工周期短、成本低。它的化學(xué)原理是利用三氯化鐵水溶液作為腐蝕劑與金屬反應(yīng):
2FeCl3+ F e= 2FeCl2
2FeCl3+ C u= CuCl2+ 2FeCl2
在氯離子和氧化劑共存的條件下就可以發(fā)生金屬腐蝕。 FeCl3作為一種較強(qiáng)的氧化劑,其腐蝕作用取決于 Fe3++Fe → Fe2+反應(yīng)的氧化還原電位( 0.77V ),加之溶液中含有大量的氯離子,且 PH 值低、酸性強(qiáng),所以對(duì)金屬有強(qiáng)烈的腐蝕傾向。由腐蝕反映原理可知,三氯化鐵隨著反應(yīng)進(jìn)行, Fe3+離子濃度越來(lái)越低,而 Fe2+離子濃度越來(lái)越高。
一般經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明:在三氯化鐵溶液中的 Fe2+離子濃度超過(guò)一定量時(shí),腐蝕劑對(duì)金屬腐蝕速度就顯著下降,腐蝕質(zhì)量變差,此時(shí)就需要更新。若經(jīng)常更換腐蝕溶液,一則對(duì)環(huán)境產(chǎn)生污染,二則造成浪費(fèi),提高產(chǎn)品成本,如果能把 Fe2+氧化再生就可能解決這些問(wèn)題。
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